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產(chǎn)品簡介
SE-i 光譜橢偏儀
產(chǎn)品簡介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積， ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時(shí)反饋測量物性數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度：固定變角 2、應(yīng)用定位：原位定制型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光譜 4、分析光譜： 380-1000nm，支持按需定制化 5、單次測量時(shí)間： 0.5-5s 6、重復(fù)性測量精度： 0.01nm 7、入射角范圍： 65°（支持定制） |
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