產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品簡介：TFMS-LD 是一款反射光譜薄膜測厚儀，可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度，其測量膜
厚范圍為15nm-50um，儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反
纖反射探頭。儀器尺寸小巧，方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。
| 產(chǎn)品型號 | TFMS-LD 反射光譜薄膜測厚儀 |
| 測量膜厚范圍 | 15nm-50um |
| 光譜波長 | 400 nm - 1100 nm |
| 主要測量透明 或半透明薄膜 厚度 |
氮化物 光刻膠 半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等） 半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS 等） 硬涂層（碳化硅，類金剛石炭） 聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺) 金屬膜
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| 特點(diǎn) | 測量和數(shù)據(jù)分析同時進(jìn)行，可測量單層膜，多層膜，無基底和非均勻膜 |
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| 包含了 500 多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等 體積較小，方便擺放和操作 可測量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度 使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測量和分析 |
| 精度 | 0.01nm 或 0.01% |
| 準(zhǔn)確度 | 0.2%或 1nm |
| 穩(wěn)定性 | 0.02nm 或 0.02% |
| 光斑尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn) 3mm,可以小至 3um |
| 要求樣品大小 | 大于 1mm |
| 分光儀/檢測器 | 400 - 1100 nm 波長范圍 光譜分辨率: < 1 nm 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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| 光源 | 5W 的鎢鹵素?zé)?/span> 色溫： 2800K 使用壽命:1000 小時 |
| 反射探針 | 光學(xué)纖維探針， 400um 纖維芯 配有分光儀和光源支架 |
| 載樣臺 | 測量時用于放置測量的樣品
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| 通訊接口 | USB 接口，方便與電腦對接 |
| TFCompanion 軟件 | 的數(shù)據(jù)庫包含兩 500 多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率， K：消失系數(shù)） |
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誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對樣品測量的準(zhǔn)確性 可分析簡單和復(fù)雜的膜系 |
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| 設(shè)備尺寸 | 200x250x100mm |
| 重量 | 4.5kg |
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移動站：TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀
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