產品簡介： 高真空三溫區(qū) CVD 系統 OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 是由九通道質量流量控制器和高真空機組組成 的 CVD 系統，其爐管直徑為 4″ ，溫度可達 1200℃ ，極限真空可達 10-5 torr ，混氣系統可對 1-9 種氣體 進行精確的混合，然后導入管式爐內部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
產品型號 | 高真空三溫區(qū) CVD 系統 OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水：不需要 | |
2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 | |
3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 | |
4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通風裝置：需要 | |
主要特點 | 1、爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使得殼體表面的溫度<60℃。 |
2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱 效率，延長使用壽命。 | |
3、設有三個溫區(qū)，可獨立控溫， 可設置 50 段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。 | |
4、供氣系統與真空機組置于移動架內，方便移動。 | |
5、真空系統采用一鍵操作，按下“start” 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動 （隔膜泵先啟動， |
待真空度達到 10-2mbar 后分子泵自動啟動）。 6、根據腔體內的真空度，系統自動控制旋片泵的旋轉速率。 | |
7 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 管式爐 1、電源： AC 208V-240V 單相 50Hz/60Hz 7KW 2、爐管：高純石英管， 外徑 ?100mm×內徑 ?92mm×1400mm 3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 |
4、加熱區(qū)： 溫區(qū) I 長 220mm ，溫區(qū) II 長 440mm ，溫度 III 長 220mm ，總長 880mm 5、恒溫區(qū)： 500mm （三個溫區(qū)設為同一溫度時） 6、工作溫度： 1200℃， 連續(xù)工作 1100℃ 7、升溫速率：≤20℃/min 8、控溫精度：± 1℃ 9、熱電偶： 3 根 K 型熱電偶 | |
高真空機組 1、輸入電源： AC110V 或 AC220V 可切換 50Hz/60Hz 2、消耗功率： 110W | |
3、殼體尺寸： 600mm×600mm×700mm 4、承重量： 270kg 5、抽氣速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s 6、工作范圍： 1000mbar-<10-7mbar 7、極限真空度： 10-5torr 8、數字式真空顯示計： 10-8mbar-103mbar |
質量流量混氣系統 1、質量流量計： 9 通道精密質量流量計 | |||
2、流量計范圍： 10sccm-1000sccm 三個， 20sccm-200sccm 三個， 30sccm-10sccm 三個 3、壓力表： 3 個，用來檢測混合氣體壓力 | |||
產品規(guī)格 | 尺寸： 爐體 550mm×380mm×520mm ，高真空機組 600mm×600mm×700mm，質量流量混 氣系統 600mm×600mm×700mm 重量： 100kg | ||
真空配件 | 1 | 不銹鋼真空密封法蘭 | 2 個 |
2 | 精密針閥 | 2 個 | |
3 | 1/4″軟管接頭 | 1 個 | |
4 | 高溫硅膠 O 型密封圈（可承受 300 ℃） | 6 個 | |
5 | 氧化鋁管堵 | 1 套 | |
6 | KF-40 真空波紋管 | 1 根 | |
7 | KF-40 快速卡箍 | 3 個 | |
8 | KF-25 卡箍 | 2 個 | |
可選配件 | 防腐型數字式真空顯示計 | ||
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