氣體純化器，深度脫除雜質(zhì)

FTKLN 系列是針對 POU 終端客戶需求研制的氣體純化器，A 系列主要為提高高純度惰性氣體在微電子行的純度一致性和最終純度，利用科學(xué)的材料配比將惰性氣體中水，氧，一氧化碳，二氧化碳等雜質(zhì)深度脫除，保證最終使用點位的氣體純凈。

產(chǎn)品特色
- 過程控制 : 純度控制 ppb 級以下，通過 ISO9001:2015 設(shè)備制造的凈化器，和 CE 壓力設(shè)備指令（PED）認(rèn)證
- 操作安裝便利 : 不需要加熱器或其他功耗，室溫下即可工作，建議垂直安裝使用，氣流方向為從上往下
- 成本節(jié)約 : 殼體壽命 20 年，入口氣體水、氧含量為 1ppm 的情況下可以使用一年，吸附飽和后可返廠再生

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)/鋼瓶氣純化/色譜載氣純化/其他研發(fā)領(lǐng)域