優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體
結(jié)合過(guò)濾器的顆粒攔截,減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
Gasfaver系列擴(kuò)散器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。Gasfaver擴(kuò)散器結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,過(guò)濾精度達(dá)0.003μm。獨(dú)特的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),在保證過(guò)濾效率的同時(shí),也避免引起湍流,對(duì)工藝室環(huán)境造成影響,防止吹起顆?;蛏踔链灯鸸杵?。
產(chǎn)品特色
- 減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝
- 99% 完整性測(cè)試通過(guò)
- 99% 氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣


















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