
- 產(chǎn)品名稱:Helios 450S FIB聚焦離子束
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FIB(Focused Ion Beam,聚焦離子束)是將離子源(如鎵)產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,并利用電透鏡聚焦成非常小尺寸(納米級)的顯微切割儀器。可以實現(xiàn)微、納米級尺度的表面形貌加工。通常會配置高分辨的掃描電鏡(SEM),用于切割位置的定位及新鮮截面的成像,也就是常說的雙束FIB。

![1654655663360698.png ATVNALC@Y}L%XM8F]Z5P}YX.png](https://img68.zyzhan.com/5eceadd4559dcfd29048125fa32826e7f7a32090822b73d8add40c22cde430193e46f9ae605d26b7.png)

FIB(Focused Ion Beam,聚焦離子束)是將離子源(如鎵)產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,并利用電透鏡聚焦成非常小尺寸(納米級)的顯微切割儀器。可以實現(xiàn)微、納米級尺度的表面形貌加工。通常會配置高分辨的掃描電鏡(SEM),用于切割位置的定位及新鮮截面的成像,也就是常說的雙束FIB。

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