產(chǎn)品簡介
優(yōu)勢
? 高純度工藝供氣生產(chǎn)線
? 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L，安全可靠
? W-seal和C-seal 可供選擇
技術(shù)參數(shù)
| 尺寸 | SEMI F83-0304 | SEMI F84-0304 | SEMI F86-0304 |
| Cv value( Cv值) | 0.24 | 0.24 | 0.27 |
| 使用壓力 | 1.0MPa(G) | ||
| 使用溫度范圍 | -10～80℃ | ||
| 外部泄露 | ≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium | ||
| 閥座泄露 | ≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium | ||
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移動站：IGS金屬隔膜閥
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