型號

DT2B

流量范圍

0--5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM (小通道)
0--1/2/3/5/10/20/30 SLM (小通道)
20/30/50/100/150/200/250 SLM (大通道)

工作壓差范圍

≤10SLM 0.10～0.50 Mpa (小通道)
20、30SLM 0.10～0.30 Mpa (小通道)
20、30SLM 0.05～0.30 Mpa (大通道)
50、100、150SLM 0.10～0.30 Mpa (大通道)
200、250SLM 0.15～0.30 Mpa (大通道)

耐壓

3 MPa

工作環(huán)境溫度

5℃～45℃

響應時間

≤0.3 sec

閥門開啟/關閉電壓

閥門開啟電壓：<9V DC；閥門全開電壓：>12V DC

漏氣率

單點＜1x10^-8 SCCS He

工作電源

0～15V DC ≤3.5W

出入口接頭

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、1/2″標準雙卡套接頭和VCR 1/4″陽接頭。

金屬材料

316L

型號

DJ2B

流通量

50SLM(小通道)

工作壓差范圍 

50SLM 0.05～0.50 MPa (小通道)150/300   SLM 0.25～0.50 MPa (大通道)

耐壓

1 MPa (小通道)3 MPa (大通道)

工作環(huán)境溫度

5℃～45℃

漏氣率 

單點＜1×10-8 atm·cc/sec He

工作電源 

0～24V DC  ≤5W

出入口接頭

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、Φ12、1/2″標準雙卡套接頭，VCR 1/4″陰接頭、VCR 1/4″陽接頭和VCR 1/2″陽接頭

金屬材料 

316L