SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。的鏡筒設(shè)計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、*的自動功能、精心設(shè)計的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。 ...

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。

的鏡筒設(shè)計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、*的自動功能、精心設(shè)計的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。

電子槍類型	分辨率	放大倍率	加速電壓	樣品臺
肖特基 場發(fā)射電子槍	0.9 nm @ 15 kV，SE 1.3 nm @ 1 kV，SE 0.8nm @ 30 kV，STEM	1 ~ 2,500,000 x	20 V ~ 30 kV	五軸全自動樣品臺

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

01 分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像

02 電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

03 高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

04 電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

05 水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

06 磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

 

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用案例

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	0.9 nm @ 15 kV，SE 1.3 nm @ 1.0 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM
	加速電壓	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	電子槍類型	肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室	真空系統(tǒng)	全自動控制
	攝像頭	雙攝像頭 （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控）
	樣品臺行程	X: 125 mm，Y: 125 mm，Z: 50 mm T: -10°～ +90°, R: 360° （* 可選配超大倉體版本）
探測器和擴(kuò)展	標(biāo)配	鏡筒內(nèi)高角度電子探測器 側(cè)向低角度電子探測器
	選配	插入式背散射電子探測器 STEM自動插入式掃描透射探測器 樣品交換倉 高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光 高低溫原位拉伸臺 納米機(jī)械手 大圖拼接 軌跡球 & 旋鈕控制板
軟件	語言	中文
	操作系統(tǒng)	Windows
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散