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恒壓控制系統(tǒng)-GZK-PID-103G

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公司名稱江蘇宏玨科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2026/1/9 17:02:49
訪問次數(shù)92

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江蘇宏玨科技有限公司是一家專業(yè)銷售教學(xué)、科研及生產(chǎn)儀器設(shè)備的綜合性貿(mào)易公司，公司以“服務(wù)科研，推動社會發(fā)展”為宗旨，為科研院所﹑大專院校﹑大中型企業(yè)﹑醫(yī)院等單位，提供各種進口﹑國產(chǎn)的科研器材﹑儀器耗材等專業(yè)設(shè)備和技術(shù)服務(wù)，為促進我省的科學(xué)技術(shù)發(fā)展作出了應(yīng)有的貢獻，受到廣大用戶的。目前公司主要經(jīng)營的品種有：分析儀器、光學(xué)儀器、電化學(xué)儀器、計量儀器、物性測試、環(huán)境監(jiān)測、生命科學(xué)、實驗室儀器。主要代理品牌有合肥科晶﹑北京泊菲萊、瑞士梅特勒Mettler Toledo﹑德國艾卡IKA﹑美國吉時利Keithley﹑德國艾本德Eppendorf、美國密理博Millipore﹑武漢科思特、安徽科冪、江陰佳圖、北京金埃譜、北京伊特克斯、沈陽創(chuàng)一等品牌，用戶遍及國內(nèi)外各大科研院所﹑大專院校、生物醫(yī)藥﹑石油﹑化工﹑環(huán)保﹑輕工等許多相關(guān)領(lǐng)域。公司注重技術(shù)引進和售后服務(wù)，在電化學(xué)、催化、材料等領(lǐng)域有成熟的產(chǎn)品鏈。同時與科研界緊密聯(lián)系，更愿意根據(jù)科研工作者的要求設(shè)計出于實驗的非標產(chǎn)品。在科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展的今天，公司將一如既往，再接再勵，攜全體員工共同開創(chuàng)美好的明天。

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產(chǎn)品詳細介紹： GZK-PID-103G是一款高真空恒壓控制系統(tǒng)

恒壓控制系統(tǒng)-GZK-PID-103G 產(chǎn)品信息

　　產(chǎn)品詳細介紹：

　　GZK-PID-103G是一款高真空恒壓控制系統(tǒng)，內(nèi)部含一高真空國產(chǎn)分子泵機組(機械泵VRD-24以及分子泵FF100/110)，兩種工作狀態(tài)可進行切換：

　　分子泵工作模式：可啟動分子泵機組，從而實現(xiàn)體系的高真空狀態(tài);

　　恒壓工作模式：待分子泵停止工作后，通過PID控制機械真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率，進而獲得對腔室內(nèi)壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合，實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及HPCVD等工藝中壓力恒定的精確控制;

　　本系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。

　　技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品特點	? 含一高真空分子泵機組：機械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S） ? 兩種工作狀態(tài)可進行切換：分子泵工作模式以及恒壓工作模式 ? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷 ? 恒壓工作模式下：可通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制
輸入電源	? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz ? 功率為1200W
真空測量單元	? 型號：PGC-554-LD ? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5
真空泵系統(tǒng)	? 機械泵型號：VRD-24 抽速：6.6L/S 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≦58 dB ? 分子泵型號：FF100/110 抽速：110L/S 極限壓強：≦4.5*10-7 torr（不帶負載）啟動壓強：< 0.75 torr 額定轉(zhuǎn)速：42300 rpm ? 與腔室連接接口尺寸：KF40
壓力恒定控制系統(tǒng)	? 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm） ? 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）＞10 torr------200torr（±%5）
外型尺寸	? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
產(chǎn)品重量	? ~80kg
質(zhì)保期	? 一年質(zhì)保期，終身維護
應(yīng)用	? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐、CVD、PECVD和HPCVD系統(tǒng)相連接，實現(xiàn)氣氛的恒壓控制。 ? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用，可實現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。
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