產(chǎn)品特點(diǎn)

? 含一高真空分子泵機(jī)組：機(jī)械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S）

? 兩種工作狀態(tài)可進(jìn)行切換：分子泵工作模式以及恒壓工作模式

? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷

? 恒壓工作模式下：可通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配，從而達(dá)到精確的恒壓控制

輸入電源

? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

? 功率為1200W

真空測量單元

? 型號：PGC-554-LD

? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr

? 精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系統(tǒng)

? 機(jī)械泵型號：VRD-24

抽速：6.6L/S

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≦58 dB  

? 分子泵型號：FF100/110

抽速：110L/S

極限壓強(qiáng)：≦4.5*10-7 torr（不帶負(fù)載）

啟動壓強(qiáng)：<  0.75 torr

額定轉(zhuǎn)速：42300 rpm

? 與腔室連接接口尺寸：KF40

壓力恒定控制系統(tǒng)

? 壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm）

? 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）                   ＞10 torr------200torr（±%5）

外型尺寸

? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

產(chǎn)品重量

? ~80kg

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

 應(yīng)用

? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐、CVD、PECVD和HPCVD系統(tǒng)相連接，實現(xiàn)氣氛的恒壓控制。   

 ? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用，可實現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。
 

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