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  • 恒壓控制系統(tǒng)-GZK-PID-VRD24
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更新時間

2026/1/9 16:52:11

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳細介紹: GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統(tǒng),內(nèi)部含一抽速可達6.6L/s的雙級旋片機械泵VRD-24,通過PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率,進而獲得對腔室內(nèi)壓力的精密測量和恒壓控制,可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合,實現(xiàn)PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制

恒壓控制系統(tǒng)-GZK-PID-VRD24詳細信息

  產(chǎn)品詳細介紹:

  GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統(tǒng),內(nèi)部含一抽速可達6.6L/s的雙級旋片機械泵VRD-24,通過PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率,進而獲得對腔室內(nèi)壓力的精密測量和恒壓控制,可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合,實現(xiàn)PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。廣泛應(yīng)用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。

 

  技術(shù)參數(shù):

 

產(chǎn)品特點

? 含一雙旋片機械泵VRD-24,抽速可達6.6L/s

? PLC觸摸屏控制,觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài),一鍵式操作,方便快捷

? 通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率,使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配,從而達到精確的恒壓控制

輸入電源

? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

? 功率為1000W

真空測量單元

? 型號:PGC-554-LD

? 測量范圍:3.8E-5 to 1125 Torr

? 精度:

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系統(tǒng)

? 機械泵型號:VRD-24

? 抽速:6.6L/S

? 進氣口:KF25

? 工作環(huán)境溫度:5-40℃

? 噪音:≦58 dB  

? 極限真空度:3*10-4 torr(不帶負載)


壓力恒定控制系統(tǒng)  

? 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣):

760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照進氣量為500sccm)

600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照進氣量為300sccm)

300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照進氣量為100sccm)

180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照進氣量為50sccm)

? 壓力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10)

                   >2.5torr-----10torr(±%40)

                   >10 torr------200torr(±%5)

外型尺寸

? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

產(chǎn)品重量

? ~40kg

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期,終身維護

應(yīng)用

? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐和CVD、PECVD系統(tǒng)相連接,實現(xiàn)氣氛的恒壓控制。   

? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用,可實現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。

 

免責(zé)聲明

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關(guān)鍵詞:真空泵

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