產(chǎn)品特點

? 含一雙旋片機械泵VRD-24，抽速可達6.6L/s

? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷

? 通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制

輸入電源

? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

? 功率為1000W

真空測量單元

? 型號：PGC-554-LD

? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr

? 精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系統(tǒng)

? 機械泵型號：VRD-24

? 抽速：6.6L/S

? 進氣口：KF25

? 工作環(huán)境溫度：5-40℃

? 噪音：≦58 dB  

? 極限真空度：3*10-4 torr（不帶負載）

壓力恒定控制系統(tǒng)  

? 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm）

? 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                   ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                   ＞10 torr------200torr（±%5）

外型尺寸

? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

產(chǎn)品重量

? ~40kg

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期，終身維護

應(yīng)用

? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐和CVD、PECVD系統(tǒng)相連接，實現(xiàn)氣氛的恒壓控制。   

? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用，可實現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。

免責(zé)聲明

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