最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對(duì)超純水的水質(zhì)提出了更高的要求，超純水中所含雜質(zhì)的允許含量越來(lái)越低，同時(shí)需要控制的雜質(zhì)種類(lèi)也越來(lái)越多。為了有效去除各種雜質(zhì)，需要各種處理手段的綜合運(yùn)用。

　　通常我們超純水系統(tǒng)分為三部分：預(yù)處理，初級(jí)處理和拋光精制處理。

　　1.預(yù)處理系統(tǒng)通常由過(guò)濾、殺菌和防氧化工藝組成;

　　2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設(shè)備等組成。

　　3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。