Photoresist光阻劑廣泛用于PCB線路板行業(yè)，通過(guò)其使用蝕刻化學(xué)品來(lái)布置電路連接或印刷電路板跡線，也被用于半導(dǎo)體工業(yè)，它是用于形成單個(gè)半導(dǎo)體器件的微小電路的微圖案的光刻生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟。Photoresist光刻膠工藝過(guò)程控制光線輻照強(qiáng)度和曝光時(shí)間至關(guān)重要，它可以避免在加工和生產(chǎn)過(guò)程中光刻膠的浪費(fèi)性下曝光或曝光過(guò)度。為了保持這些設(shè)置，需要具有盡可能接近光阻劑作用光譜的測(cè)光表來(lái)精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度。
美國(guó)International Light國(guó)際光學(xué)公司致力于提供各種光刻膠專用儀器來(lái)實(shí)現(xiàn)曝光輻射強(qiáng)度測(cè)量。ILT2400輻照計(jì)以手持價(jià)格提供研究級(jí)質(zhì)量，采用可分離探頭設(shè)計(jì)，具有8個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍，測(cè)量速度可達(dá)100μs，內(nèi)置可充電電池持續(xù)長(zhǎng)達(dá)8小時(shí)，4.3寸觸摸屏顯示，可橫向和縱向查看讀數(shù)或圖形曲線。XSD340B探頭響應(yīng)波段326-401 nm，校準(zhǔn)于365nm波長(zhǎng)，可測(cè)量3e-6 W/cm2至30W/cm2光源輻照強(qiáng)度。ILT測(cè)光表和探測(cè)器均帶NIST可溯源ISO17025認(rèn)證校準(zhǔn)報(bào)告。
ILT XSD系列光刻膠輻照度探頭
ILT2400+XSD140A：量程4e-8 to 0.7 W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長(zhǎng)
ILT2400+XSD340A：量程8e-7 to 10 W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長(zhǎng)
ILT2400+XSD140B：量程7e-8 to 1 W/cm2，光譜范圍326-401 nm，中心波長(zhǎng)365nm
ILT2400+XSD340B：量程3e-6 to 30W/cm2 高強(qiáng)度，測(cè)量光譜326-401 nm，校準(zhǔn)于365nm
產(chǎn)品規(guī)格介紹文檔/download/201805/ILT2400_XSD340_SD140.pdf
ILT2400中文版簡(jiǎn)易操作說(shuō)明書/download/201805/ILT2400_Quick_Manual.pdf
分析儀軟件介紹文檔/download/201805/ILT_DataLight-Trend-Manual.pdf
美國(guó)International Light Photoresist光阻劑曝光輻照度測(cè)光表探頭選型
| 輻照計(jì)/探頭組合 | 響應(yīng)波長(zhǎng)頻譜 | 測(cè)量范圍 | 類型及應(yīng)用 |
| ILT5000, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-9 ~ 2 W/cm² | 臺(tái)式，Photoresist光刻膠/光阻材料， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，同上 |
| ILT1000/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT1700, SED033/A/W | 320-475 nm | 7e-9 ~ 4 W/cm² | 臺(tái)式，Photoresist光刻/光阻劑，同上 |
| ILT2400, XSD140A | 320-475 nm | 4e-8 ~ 0.7 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340A | 320-475 nm | 8e-7 ~ 10 W/cm² | 同上，大功率高強(qiáng)度輻照探頭 |
| ILT5000, SED033/B/W | 326-401 nm | 3e-10 ~ 0.2 W/cm² | 臺(tái)式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, SED033/B/W | 326-401 nm | 2e-8 ~ 0.2 W/cm² | 手持式，同上 |
| ILT1700, SED033/B/W | 326-401 nm | 5e-9 ~ 0.5 W/cm² | 臺(tái)式，同上 |
| ILT1000/B/W | 326-401 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，同上 |
| ILT2400, XSD140B | 326-401 nm | 7e-8 ~ 1 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340B | 326-401 nm | 2e-6 ~ 30 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，高強(qiáng)度測(cè)量 |
| ILT2400, SSD001 | 260-400 nm | 6e-6 ~ 0.9 W/cm² | 手持式，超薄傳感器， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
另有UV固化測(cè)量系統(tǒng)ILT800傳送帶式紫外線固化設(shè)備曝光量測(cè)量，范圍5e-3 ~ 40 W/cm2；LT2400+XSD340AT7 320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm中心波長(zhǎng)，可測(cè)輻照強(qiáng)度范圍高達(dá)60 W/cm²。ILT紫外殺菌測(cè)光系統(tǒng)ILT2400+SED254/QT，手持式，低可見度環(huán)境，高功率紫外線強(qiáng)度應(yīng)用；ILT2400+SED185/NS185校準(zhǔn)于185nm，臭氧/殺菌、光解廢氣、水處理行業(yè)。
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