MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

測量和控制范圍  0.2%-1 00%F.S. （1:500）

準(zhǔn)確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時(shí)間   5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門   常閉式

蘇州愛拓利是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)。其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化、自研自制、全制程自主可控，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品。愛拓利目前已為多家重點(diǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設(shè)備及光電設(shè)備廠商提供流量計(jì)/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品。通過廣泛的應(yīng)用，愛拓利流量計(jì)產(chǎn)品重復(fù)性和穩(wěn)定性得到了充分的驗(yàn)證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、純國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，擺脫對進(jìn)口品牌的依賴，大力提升制程和科學(xué)儀器中國產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，致力于早日打造出高品質(zhì)且性能可靠的流體測控產(chǎn)品，為解決我國基礎(chǔ)科學(xué)及制程領(lǐng)域所面臨的“卡脖子”困境貢獻(xiàn)一份綿薄之力。