蘇州愛拓利是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)。其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實現(xiàn)國產(chǎn)化、自研自制、全制程自主可控，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品。愛拓利目前已為多家重點(diǎn)大學(xué)實驗室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設(shè)備及光電設(shè)備廠商提供流量計/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品。通過廣泛的應(yīng)用，愛拓利流量計產(chǎn)品的重復(fù)性和穩(wěn)定性得到了充分的驗證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、純國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，擺脫對進(jìn)口品牌的依賴，大力提升制程和科學(xué)儀器中國產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，致力于早日打造出高品質(zhì)且性能可靠的流體測控產(chǎn)品，為解決我國基礎(chǔ)科學(xué)及制程領(lǐng)域所面臨的“卡脖子”困境貢獻(xiàn)一份綿薄之力。

MFC350 系列為全新升級的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精度：0.5 % F.S.

測量范圍：0.5%~1 00% F.S.

控制范圍：1%~1 00% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應(yīng)

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)  介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范圍  1%F.S-1 00%F.S.（1:100）

準(zhǔn)確度  0.2% F.S

重復(fù)精度  0.05% F.S

線性度  0.1%F.S

控制響應(yīng)時間  100ms

預(yù)熱時間  0s

閥門  常閉

泄漏率 1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)

1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）

分辨率  0.001sccm