特點(diǎn)
1、風(fēng)速均勻
2、厚度薄
3、高效率
4、大容塵量
5、 0.1~0.5 um粒子捕集
6、效率99.9995%以上
一般應(yīng)用
超LSI制造工場(chǎng)、半導(dǎo)體制造工場(chǎng)、原子力研究中心、無塵室、層流設(shè)備、工作臺(tái)等其他要求超高潔凈度的場(chǎng)合
風(fēng)量與阻力關(guān)系

構(gòu)成材料及運(yùn)行條件
| 框材 | 密封膠 | 分隔物 | 濾料 | 使用溫度 | 使用濕度 | 密封條 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 鋁型材 | 聚氨脂膠 | 熱熔膠 | 玻纖濾紙 | 80℃ | 99% | EVA |

















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