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桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱

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公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/9/3 8:20:00
訪問次數(shù)80

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司具有自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力。服務(wù)于電子、電力、通訊、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更*！

公司坐落于中國上海，奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺(tái)的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備，公司是一個(gè)專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家，擁有高的技術(shù)人才，高素質(zhì)的工作團(tuán)隊(duì)，豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有：半導(dǎo)體濕法設(shè)備，硅片刻蝕機(jī)，清洗設(shè)備，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，無塵烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，真空烤箱，真空無氧固化烤箱，干燥烘箱，黑蒜設(shè)備，環(huán)境可靠性設(shè)備，電線電纜檢測儀器等設(shè)備，同時(shí)可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)非標(biāo)類的產(chǎn)品。

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桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱使用工藝光刻--就是將掩膜版上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到涂有一層光刻膠的晶圓表面的工藝過程

桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱產(chǎn)品信息

桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱使用工藝

光刻--就是將掩膜版上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到涂有一層光刻膠的晶圓表面的工藝過程。典型的光刻全過程為:

晶圓表面預(yù)處理一涂膠(去邊)一前烘一 (對(duì)位) 曝光一PEB 烘一顯影一后烘一顯檢(測量)

以上步驟中的步表面預(yù)處理就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理（可利用親水/疏水理論對(duì)其進(jìn)行解釋。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。通常的方法是使用氣相沉積的方法改變表面特性，一般采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性，從而增大晶圓表面的接觸角），增強(qiáng)光刻膠和晶圓的粘附力。

桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱涂布方法

JS-hmds90烘箱采用真空蒸鍍的方法涂布HMDS化合物。HMDS烘箱在高溫條件下，達(dá)到真空狀態(tài)后開始涂布工藝，涂布完成后烘箱內(nèi)部充入N2，達(dá)到常壓后方可開門。

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液量1000ml

真空泵：無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理：多個(gè)工藝方案，可修改并記錄，使用數(shù)據(jù)可記錄

保護(hù)裝置：低液位報(bào)警，HMDS藥液泄漏報(bào)&警，超溫保護(hù)并斷開加熱，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱增粘處理的注意事項(xiàng):

1)預(yù)處理完的硅片應(yīng)在一定的時(shí)間內(nèi)盡快涂膠，以免表面吸附空氣中的水分，降低增粘效果。但同時(shí)也要充分冷卻，因硅片的溫度對(duì)膠厚有很大的影響;

2)反復(fù)預(yù)處理反而會(huì)降低增粘效果;