堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱概述
無塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱特點
1、 烤箱用于半導體車間100級生產(chǎn)線；
2、 設備能夠實現(xiàn)對CASETTE內(nèi)硅片烘烤工藝；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
4、 開機后墻體內(nèi)一直處于恒溫狀態(tài)；
5、 強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度；
6、操做人員放入產(chǎn)品后關門，點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝，完成后伴有聲光提示。
堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱技術參數(shù)
1、 無塵等級：Class 100;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 溫度范圍：RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率：≥8℃/min（可修改）；
7、 內(nèi)腔材質(zhì)：SUS304＃鏡面不銹鋼；
8、 外箱材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；
9、 密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
10、氮氣裝置：可調(diào)式浮子流量計；
11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。
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