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HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/9/2 8:35:05
  • 訪問(wèn)次數(shù)117
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       上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司具有自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力。服務(wù)于電子、電力、通訊、航空航天等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更*!

       公司坐落于中國(guó)上海,奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺(tái)的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備,公司是一個(gè)專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家,擁有高的技術(shù)人才,高素質(zhì)的工作團(tuán)隊(duì),豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有:半導(dǎo)體濕法設(shè)備, 硅片刻蝕機(jī),清洗設(shè)備,HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,無(wú)塵烤箱,無(wú)氧烤箱,無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱,真空烤箱,真空無(wú)氧固化烤箱,干燥烘箱,黑蒜設(shè)備,環(huán)境可靠性設(shè)備,電線電纜檢測(cè)儀器等設(shè)備,同時(shí)可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)非標(biāo)類的產(chǎn)品。

       真誠(chéng)的希望各界用戶給我們提出寶貴的意見及建議,以便我公司為您提供更周到、更*的服務(wù),做到讓您滿意!

儀器儀表
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱主要用途:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱 產(chǎn)品信息
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱主要用途:
      
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱特點(diǎn):
1、
具有MES接口,可連接MES系統(tǒng);
2、有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動(dòng)記錄作業(yè)人員;
3、作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確;自動(dòng)記錄作業(yè)累計(jì)次數(shù);
4、作業(yè)批號(hào),作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時(shí)間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動(dòng)生成Excel報(bào)表。
MES系統(tǒng)功能:
為企業(yè)生產(chǎn)管理人員進(jìn)行過(guò)程監(jiān)控與管理、保證生產(chǎn)正常運(yùn)行,控制產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)成本提供了靈活有力的工具。
1、正確掌握在制品數(shù)量,及不良品的追蹤,降低在制品成本;
2、 用條形碼追蹤產(chǎn)品序號(hào),提高產(chǎn)品的售后服務(wù)水平;
3、及時(shí)反應(yīng)產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,追溯品質(zhì)歷史,提高產(chǎn)品治理;
4、 大幅減少現(xiàn)場(chǎng)手工作業(yè),提高現(xiàn)場(chǎng)管理人員的生產(chǎn)力;
5、充分掌握工具、設(shè)備的使用狀況,使制造資源高效運(yùn)作;
6、 *的統(tǒng)計(jì)報(bào)表為企業(yè)管理決策提供實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確、可靠的生產(chǎn)數(shù)據(jù),提高公司核心競(jìng)爭(zhēng)力。
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱技術(shù)指標(biāo):
1、內(nèi)部尺寸(mm):350*350*350/450*450*450/550*550*650可定制尺寸
2、 材質(zhì): 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L級(jí)不銹鋼 
3、溫度范圍: RT+10-250℃
4、溫度分辨率:0.1℃ 
5、 溫度波動(dòng)度: ≤±0.5
6 、真空度: ≤133pa(1torr) 
7、 潔凈度: class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
8、 電源及總功率:AC 220V、380V±10% / 50HZ         
9、 控制儀表:人機(jī)界面
10、 擱板層數(shù):2層 
11、 HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量 
12、 真空泵:旋片式油泵或進(jìn)口無(wú)油泵
13、 保護(hù)裝置: 低液位報(bào)警,HMDS藥液泄漏報(bào)警,超溫報(bào)警并斷開加熱,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)等
關(guān)鍵詞:真空泵
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