名稱:高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)
型號(hào):TEMD600
品牌:泰科諾
產(chǎn)地:北京
一、產(chǎn)品概述
1、適用:大專院校、科研院所及企業(yè)進(jìn)行薄膜新材料的科研與小批量制備。
2、產(chǎn)品特點(diǎn)/用途:
?設(shè)備一體化設(shè)計(jì),占地面積小,性價(jià)比高,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低;
?適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等;
?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。
| 型號(hào) | TEMD600 |
| 真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng) |
| 真空腔室尺寸 | Φ600×H750mm |
| 加熱溫度 | 室溫~300℃ |
| 旋轉(zhuǎn)基片臺(tái) | 平板型Φ350mm,或球罩型基片臺(tái)可選 |
| 膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
| 考夫曼離子源 | 可選 |
| 蒸發(fā)源 | 電子槍8KW 6穴坩堝 國(guó)產(chǎn)進(jìn)口可選,配2-3組電阻蒸發(fā) |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng) |
| 占地面積 | 長(zhǎng)×寬:L2500×W1600mm |
| 總功率 | ≥17KW |


















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