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日立三維分析聚焦離子束系統(tǒng) NX9000

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2025/6/22 9:32:15

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簡(jiǎn)介該設(shè)備通過自動(dòng)重復(fù)使用聚焦離子束（FIB）制備截面并進(jìn)行掃描電子顯微鏡（SEM）觀察，采集一系列連續(xù)截面圖像，以重構(gòu)特定微區(qū)的三維結(jié)構(gòu)

日立三維分析聚焦離子束系統(tǒng) NX9000詳細(xì)信息

簡(jiǎn)介

該設(shè)備通過自動(dòng)重復(fù)使用聚焦離子束（FIB）制備截面并進(jìn)行掃描電子顯微鏡（SEM）觀察，采集一系列連續(xù)截面圖像，以重構(gòu)特定微區(qū)的三維結(jié)構(gòu)。其的鏡筒布局設(shè)計(jì)，使得SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角，提高了三維結(jié)構(gòu)分析的精度。適用于多種樣品類型，包括材料、生物組織等，并可通過選配系統(tǒng)支持高品質(zhì)TEM及原子探針樣品的制作。此外，垂直入射截面SEM觀察確保了圖像的準(zhǔn)確性，有助于實(shí)現(xiàn)高精度的三維結(jié)構(gòu)分析。

追求理想的三維結(jié)構(gòu)分析

通過自動(dòng)重復(fù)使用FIB制備截面和進(jìn)行SEM觀察，采集一系列連續(xù)截面圖像，并重構(gòu)特定微區(qū)的三維結(jié)構(gòu)。
采用的鏡筒布局，從材料、設(shè)備到生物組織——在寬廣的領(lǐng)域范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)機(jī)型難以企及的高精度三維結(jié)構(gòu)分析。

SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角，形成三維結(jié)構(gòu)分析的鏡筒布局
融合高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍與高靈敏度檢測(cè)系統(tǒng)，從磁性材料到生物組織——支持分析各種樣品
通過選配口碑良好的Micro-sampling®系統(tǒng)*和Triple Beam®系統(tǒng)*，可支持制作高品質(zhì)TEM及原子探針樣品

垂直入射截面SEM觀察可忠實(shí)反映原始樣品結(jié)構(gòu)

SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角，實(shí)現(xiàn)FIB加工截面的垂直入射SEM觀察。
舊型FIB-SEM采用傾斜截面觀察方式，必定導(dǎo)致截面SEM圖像變形及采集連續(xù)圖像時(shí)偏離視野，直角型結(jié)構(gòu)可避免出現(xiàn)此類問題。
通過穩(wěn)定獲得忠實(shí)反映原始結(jié)構(gòu)的圖像，實(shí)現(xiàn)高精度三維結(jié)構(gòu)分析。
同時(shí)，F(xiàn)IB加工截面（SEM觀察截面）與樣品表面平行，有利于與光學(xué)顯微鏡圖像等數(shù)據(jù)建立鏈接。

舊型FIB-SEM、直角型FIB-SEM

樣品：小白鼠腦神經(jīng)細(xì)胞
樣品來源：自然科學(xué)研究機(jī)構(gòu)/生理學(xué)研究所窪田芳之先生

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡顯微鏡

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