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  • 日立雙束（三束）聚焦離子束系統(tǒng)NX2000
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簡(jiǎn)介日立高新公司推出的新一代FIB-SEM系統(tǒng)NX2000，整合了高性能聚焦離子束(FIB)技術(shù)和掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù)，配備有加工方向控制技術(shù)和TripleBeam®（選配）技術(shù)，旨在滿(mǎn)足對(duì)微細(xì)化觀察對(duì)象進(jìn)行低損傷、超薄樣品制備的需求

日立雙束（三束）聚焦離子束系統(tǒng)NX2000詳細(xì)信息

簡(jiǎn)介
日立高新公司推出的新一代FIB-SEM系統(tǒng)NX2000，整合了高性能聚焦離子束(FIB)技術(shù)和掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù)，配備有加工方向控制技術(shù)和Triple Beam®（選配）技術(shù)，旨在滿(mǎn)足對(duì)微細(xì)化觀察對(duì)象進(jìn)行低損傷、超薄樣品制備的需求。該系統(tǒng)具備高對(duì)比度實(shí)時(shí)SEM觀察與加工終點(diǎn)檢測(cè)功能，能制備厚度小于20nm的樣品，且通過(guò)Micro-sampling®系統(tǒng)（選配）和高精度/高速樣品臺(tái)減少窗簾效應(yīng)并實(shí)現(xiàn)薄膜樣品厚度均勻。此外，Triple Beam®技術(shù)（選配）可提升加工效率并自動(dòng)減輕FIB損傷。

追求的大樣品倉(cāng)FIB系統(tǒng)

在設(shè)備及高性能納米材料的評(píng)價(jià)和分析領(lǐng)域，F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。
近來(lái)，目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化；更薄，更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。
日立高新公司，整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù)，再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®＊1（選配）技術(shù)，推出了新一代產(chǎn)品NX2000。


運(yùn)用高對(duì)比度，實(shí)時(shí)SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測(cè)功能，可制備厚度小于20 nm的超薄樣品

加工方向控制技術(shù)（Micro-sampling®＊3系統(tǒng)（選配）+高精度/高速樣品臺(tái)＊）對(duì)于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生，以及制作厚度均一的薄膜類(lèi)樣品給予厚望。

Triple Beam®＊1（選配）可提高加工效率，并能使消除FIB損傷自動(dòng)化


關(guān)鍵詞：電子顯微鏡

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