7NG HP/UP氣體純化器超高純氫氣、氮氣、稀有氣體、氧氣等氣體是LED、大規(guī)模集成電路等半導(dǎo)體行業(yè)的重要原料。這些氣體主要用作半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的載氣和保護氣體，其純度對產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，對氣體純度的要求越來越高。半導(dǎo)體、LED外延等生產(chǎn)線對部分大宗氣體的純度要求已經(jīng)達到8N以上，而鋼瓶、儲罐等一次氣源供應(yīng)的氣體為4~6N，達不到這個要求。

超純氮氬氦氫氣體純化器7NG HP/UP系列

超高純氫氣、氮氣、稀有氣體、氧氣等氣體是LED、大規(guī)模集成電路等半導(dǎo)體行業(yè)的重要原料。這些氣體主要用作半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的載氣和保護氣體，其純度對產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，對氣體純度的要求越來越高。半導(dǎo)體、LED外延等生產(chǎn)線對部分大宗氣體的純度要求已經(jīng)達到8N以上，而鋼瓶、儲罐等一次氣源供應(yīng)的氣體為4~6N，達不到這個要求。
當(dāng)用戶對氣體純度的要求為七個九及以上時，必須現(xiàn)場使用氣體凈化器。因為一般的氣體供應(yīng)商無法通過鋼瓶等容器提供如此高純度的氣體。盡管一些氣體供應(yīng)商可以提供大約6種9純度的氣體。但是價格很貴。如果用戶對氣體純度的要求在6 9左右，建議一般用氣體凈化器凈化4 ~ 5 9純度的氣體更方便經(jīng)濟。

超純氮氬氦氫氣體純化器產(chǎn)品簡介

7NG HP/UP系列氣體純化器由氣路和電控兩部分所組成。氣路部分主要由吸氣劑(Getter)純化單元和一系列閥門、氣體管路和散熱器所組成。純化器采用化學(xué)反應(yīng)的方法在高溫下將工藝氣體中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC等雜質(zhì)去除到5ppb以下。電控部分負責(zé)控制系統(tǒng)的溫度控制和**報警等過程，確保純化器能夠持續(xù)**穩(wěn)定地運行。

超純氮氬氦氫氣體純化器超純氮氬氦氫氣體純化器產(chǎn)品特點

出口氣體中各雜質(zhì)含量小于5ppb 可以從稀有氣體和氮氣中去除甲烷 可以從稀有氣體中去除氮氣 316L SS 純化罐 配置旁通隔膜閥

超純氮氬氦氫氣體純化器純化指標(biāo)

氣體類型*	可純化氣體*	去除雜質(zhì)	純化指標(biāo)
稀有氣體-R	Ar, He, Xe, Ne, Kr	H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC, N2	<5ppb
氮氣-N	N2	H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC

超純氮氬氦氫氣體純化器型號說明

產(chǎn)品型號	常規(guī)流量 (Nm3/h)	*大壓力 (MPa)	顆粒過濾器 (μm)	進/出氣口接頭	機柜尺寸 WxDxH(mm)
7NG150-300 HP	10, 20	16	1	1/4” VCR	650x685x1840
7NG500-700 HP	30, 40	16	1	1/4” VCR	1000x685x1840
7NG200-400 UP	15, 25	22	1	1/4” VCR	650x685x1840
7NG600-800 UP	35, 50	22	1	1/4” VCR	1000x685x1840

7NG HP/UP氣體純化器產(chǎn)品應(yīng)用

標(biāo)準(zhǔn)氣體平衡氣純化 混合氣體生產(chǎn) 電子氣體生產(chǎn) 超純氮、氬、氦、氫等氣體生產(chǎn)