| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
應(yīng)用領(lǐng)域：
等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 3系列 | 3Plus |
艙體尺寸 | D200XΦ155mm | D200XΦ155mm |
艙體容積 | 3.8L | 3.8L |
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-500W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 雙浮子流量計(jì)（標(biāo)配） | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時(shí)間設(shè)定 | 9999秒 | |
真空泵 | 抽速4m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電源 | AC220V 50/60Hz 666/316W | |
艙體尺寸 | L235xW345xH245mm | |
控制尺寸 | L330xW490xH190mm | |
包裝尺寸 | L450xW640xH690mm | |
整機(jī)重量 | 25kg | |
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移動(dòng)站：手套箱專用等離子清洗機(jī)
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