產(chǎn)品簡介
掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設(shè)計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗。與外廠商電鏡配套使用。
產(chǎn)品特點
u 遠程離子清洗源
u 一機多用
u 清洗快速高效，低轟擊損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào) |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸?180xH100mm |
清洗數(shù)量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | 美國THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL） |
氣體控制 | 標配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計，測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率2.5 m3/h | |
分子泵 | |
極限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa | |
分子泵抽速85L/s（N2） | |
入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/ CF | |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護 |
電 源 | AC220V、50/60Hz，300W |
產(chǎn)品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包裝尺寸 | L715xW655xH820mm |
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移動站：掃描電鏡等離子清洗機
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