設(shè)備系列

-CX13系列

設(shè)備概況

尺寸(參考)：機臺尺寸 : 1750mmWx1400mmDx1900mmH（具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定）

清洗量：6寸25裝花籃2籃；

重量：500Kg( 大約)；

工作環(huán)境：室內(nèi)放置；

主體構(gòu)造特點

外 殼：不銹鋼304 板組合焊接而成。

安全門：無安全門，采用敞開式設(shè)計；

管路系統(tǒng)：藥液管路采用不銹鋼管，純水管路采用CL-PVC管；

閥門：藥液管路閥門采用不銹鋼電磁閥門；

排 風(fēng)：后下抽風(fēng)，動力抽風(fēng)法蘭位于機臺上部；

水：配有水各2把，分置于兩側(cè)；

隔板：藥液槽之間配有隔離板，防止藥液交叉污染；

照明：機臺上方配照明（與工作區(qū)隔離）；

機臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。

三色警示燈置于機臺上方明顯處。

工作槽參數(shù)

剝離洗槽

槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm；

化學(xué)藥品：剝離洗液；

藥液供液：人工手動加入；

工作溫度：60℃并可調(diào)；溫度可調(diào)；

加熱方式：五面體貼膜加熱/投入式加熱器加入熱；

液位控制：采用N2背壓數(shù)位檢測；

計時功能：工藝時間可設(shè)定，并可調(diào)，到設(shè)定時間后聲鳴提示，點擊按鈕后開始倒序計時；

批次記憶：藥液使用次數(shù)可記憶，藥液供入時間可記憶，設(shè)定次數(shù)和設(shè)定時間到后更換藥液；

排液：排液管道材質(zhì)為不銹鋼管，按鈕控制；

槽蓋：配有手動槽蓋；

IPA槽

槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm；

化學(xué)藥品：IPA；

供液：手動供液

工作時間：約5min并可調(diào)；

工作溫度：常溫；

排放: 槽體底部單獨直排；

QDR槽

槽體：長×寬×高= 405×220×260mm，NPP板焊接而成；

供水：雙管路自動供水,3/4供水管徑，1/2溢流給水管，氣動閥控制；

工作溫度：RT；

溢流方式：四面溢流,溢流口為波紋狀；

噴淋: 由槽體頂部兩側(cè)的DIW噴淋管和噴嘴實現(xiàn)；

鼓泡：槽底部安裝N2鼓泡系統(tǒng)，均勻鼓泡，也可根據(jù)需要關(guān)閉；

排放:氣動閥控制快速排放，N P P排放管路，快速排放時間≤7秒；

工藝流程：水滿→放入花籃→氮氣鼓泡打開→溢流漂洗＋氮氣鼓泡→快排閥打開，快速排放，→噴淋→快排閥關(guān)閉，同時底部注水，一次沖洗快排工藝結(jié)束；

設(shè)備制造商

南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 ；