EDX-V是天瑞儀器集30多年X熒光膜厚測量技術(shù),研發(fā)的一款X射線熒光鍍層測厚及成分分析儀。儀器采用多導(dǎo)毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng),對(duì)于微米級(jí)尺寸電子零件、芯片針腳、晶圓微區(qū)等部件的鍍層厚度和成分分析,能進(jìn)行高效、準(zhǔn)確的測量。
性能優(yōu)勢
1、結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測需求,專門研發(fā)適用于鍍層檢測的超近光路系統(tǒng),減少能量過程損耗。搭載的多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦管,極大的提升了儀器的檢測性能,聚焦強(qiáng)度提升1000~10000倍,更高的檢測靈敏度和分析精度以及高計(jì)數(shù)率保證測試結(jié)果的精確性和穩(wěn)定性。
2、全景+微區(qū)雙相機(jī)設(shè)計(jì),呈現(xiàn)全高清廣角視野,讓樣品觀察更全面;微米級(jí)別分辨率,更好的滿足超微產(chǎn)品的測試,讓測試更廣泛更便捷。
3、的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),信號(hào)強(qiáng)度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
4、多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細(xì)管,很好的滿足用戶不同測試需求。
5、高精度XYZ軸移動(dòng)測試平臺(tái),結(jié)合雙激光點(diǎn)位定位系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)在樣品測試過程中的全自動(dòng)化感受一鍵點(diǎn)擊,測試更省心。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
測量超微小部件和結(jié)構(gòu),如:印制線路板、連接器或引線框架等;
分析超薄鍍層,如:厚度薄至2nm的Au鍍層和≤30nm的Pd鍍層;
測量電子和半導(dǎo)體行業(yè)中的功能性鍍層;
分析復(fù)雜的多鍍層系統(tǒng);
全自動(dòng)測量,如:用于質(zhì)量控制領(lǐng)域;
符合ENIG/ENEPIG要求,符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標(biāo)準(zhǔn)。
江蘇天瑞儀器股份有限公司是具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高科技企業(yè)，注冊(cè)資本46176萬。旗下?lián)碛刑K州天瑞環(huán)境科技有限公司、北京邦鑫偉業(yè)技術(shù)開發(fā)有限公司、深圳市天瑞儀器有限公司、上海貝西生物科技有限公司、天瑞環(huán)境科技（仙桃）有限公司、四川天瑞環(huán)境科技有限公司六家全資子公司和廈門質(zhì)譜儀器儀表有限公司、江蘇國測檢測技術(shù)有限公司、上海磐合科學(xué)儀器股份有限公司、沁水璟盛生活垃圾全資源化有限公司、雅安天瑞水務(wù)有限公司五家控股子公司?？偛课挥陲L(fēng)景秀麗的江蘇省昆山市陽澄湖畔。公司專業(yè)從事光譜、色譜、質(zhì)譜等分析測試儀器及其軟件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。 天瑞儀器的發(fā)展得到了中國各級(jí)政府的大力支持與幫助，原中共、十二屆會(huì)委員長，原中共、政協(xié)第十二屆全國委員會(huì)主席，時(shí)任中共委員、副總理等各級(jí)多次來訪視察工作！
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