產(chǎn)品簡介
儀器簡介：
特點：
高耐壓性
橡膠密封、模擬電路的MFC
采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭
CE認證，國際兼容
用途：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精
密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、
石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制
氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 | D07-11C |
| 產(chǎn)品類型 | 高耐壓型,抗電磁干擾 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
| 響應(yīng)時間 | 電特性: 10sec; 氣特性:≤4sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 10MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) |
| 電源 | ±15V |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm） |
| 漏率 | 1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He） |
| 標準街頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1kg |
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