產(chǎn)品簡介: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
主要特點(diǎn):
高性能價格比、普通型產(chǎn)品
橡膠密封、模擬電路的MFC
7A型的更新?lián)Q代型
管狀分流,使用壽命長
| 滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM | |
| 控制范圍 | 2~100%F.S. | |
| 閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. | |
| 線性 | ±0.5~1.5%F.S. | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
| 響應(yīng)時間 | 電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec | |
| 工作溫度范圍 | 5~45℃ | |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |
| 靜密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) | |
| 動密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯) | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4” |
| 雙卡套 | 1/8”、1/4”或φ6、φ3 | |
| 重量 | 1.1kg | |

















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