無油爪式真空獲得技術(shù)因其清潔抽空，節(jié)能環(huán)保等特點(diǎn)逐漸在各個領(lǐng)域得到了應(yīng)用。本文就無油爪式真空泵特點(diǎn)及在太陽能行業(yè)多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)工藝中替代濕式真空泵的推廣意義。

大路通無油爪式真空泵在泵腔內(nèi)具有若干組相互嚙合的爪型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結(jié)構(gòu)采用多級轉(zhuǎn)子串連的形式，每組轉(zhuǎn)子分別位于不同泵腔做同步反方向運(yùn)動。泵腔被爪型轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉(zhuǎn)子連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行循環(huán)的吸氣排氣過程，實(shí)現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

的特點(diǎn)：

1.泵腔內(nèi)不含油類等任何介質(zhì)、清潔抽空，對環(huán)境無污染；

2.真空度高、可達(dá)3Pa；

3.結(jié)構(gòu)簡單、易于操作和維護(hù)、運(yùn)行成本低；

4.能在較高壓力下長期連續(xù)工作、噪聲?。?/span>

5.能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體（例如水蒸氣、有機(jī)氣體等）；

6.能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達(dá)10-105；

7.轉(zhuǎn)子對懸浮在泵腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用壽命長。

8.爪式泵具有免拆泵清洗功能，在使用過程中如有大量液體，粉塵或粘稠等異物后，可以在不拆泵的情況下，半小時能對泵內(nèi)部全部清洗并恢復(fù)到出廠水平，工作狀態(tài)穩(wěn)定。

在多晶硅太陽能電池行業(yè)的應(yīng)用

多晶硅鑄錠爐要求爐內(nèi)的極限壓力必須抽到1Pa以下，目前國內(nèi)很多廠家配備的是油式泵，但油式泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。油式泵入口壓力范圍：100Pa—100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。與無油爪式真空泵不同，油式泵對環(huán)境溫度也有要求，真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環(huán)境內(nèi)使用。常溫?zé)o其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。由于多晶硅生產(chǎn)廠都是將幾十臺甚至于上百臺爐子集中在一個封閉的空調(diào)廠房內(nèi)，所以對真空機(jī)組的振動和噪聲要求極為限嚴(yán)格，而且要求真空機(jī)組在連續(xù)60小時下運(yùn)行，從長遠(yuǎn)使用的耗費(fèi)成本上看，油式泵需要定期保養(yǎng)耗費(fèi)大量人力與物力成本，而不需維持的無油爪式真空泵，無疑就成了制程上選。

大路通公司配置的無油爪式真空泵機(jī)組是液力傳動羅茨泵加上無油爪式真空泵，機(jī)組的極限壓力可達(dá)1ｘ10-2Pa。此無油爪式真空泵組體積小、重量輕、噪聲低、無振動、可靠性好，所以現(xiàn)在太陽能行業(yè)多晶硅鑄錠爐工中無油爪式真空使用技術(shù)中替代濕式真空泵是國際發(fā)展趨勢，未來將是干泵世紀(jì)。應(yīng)用濕式真空泵高能耗，高排污費(fèi)用增加了企業(yè)成本，降低了企業(yè)競爭力。運(yùn)用無油爪式真空泵替代油泵，不但符合國家政策方向，而且節(jié)能環(huán)保，更能為企業(yè)帶來顯著的經(jīng)濟(jì)效益，在太陽能行業(yè)中具有普遍的推廣價值和意義。