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  • MCPD series 嵌入式膜厚測試型
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品牌

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

型號

訪問次數(shù)

275

產(chǎn)地

江蘇蘇州市

更新時間

2024/10/15 8:06:24

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產(chǎn)品簡介

本公司的MCPD series,由于采用柔軟纖維的事,從In-Situ到內(nèi)聯(lián)各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式,在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時,還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法,可以高速實時監(jiān)控。...

MCPD series 嵌入式膜厚測試型詳細信息

產(chǎn)品信息

特 點

●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)

●最短曝光時間1ms~※根據(jù)規(guī)格

●由于是柔性纖維光學系統(tǒng),容易組裝到半導體工藝裝置中

●可從上層遠程控制

●于研磨中膜厚終點檢測

基本配置

基本構(gòu)成図(1).png

裝置組裝示意圖


組込みイメージ.png


測量案例

測定例.png


  適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等

仕様

MCPD-9800仕様

1686105796157.jpg

MCPD-9800仕様

1686105880964.jpg



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