超高純氣體輸送設(shè)備是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管以及光伏、光纖等泛半導(dǎo)體行業(yè)中關(guān)鍵的廠務(wù)設(shè)備之一。

正帆科技在高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)領(lǐng)域深耕多年，在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關(guān)鍵制程為客戶提供完整的氣體供應(yīng)設(shè)備設(shè)計與制造的解決方案。正帆科技制造的氣體設(shè)備均經(jīng)過SEMI S2認(rèn)證。

潔凈度

通過使用高潔凈度的部件，在可控的環(huán)境中以超高純施工工藝加工操作，以確保系統(tǒng)對氣體的二次污染被控制在PPB級別

安全性

以必要的安全裝備與控制系統(tǒng)來預(yù)防及緊急應(yīng)對氣體意外泄漏帶來的危險

穩(wěn)定性

通過優(yōu)化的系統(tǒng)設(shè)計和嚴(yán)格的制造過程控制，確保設(shè)備能夠持續(xù)不間斷地以穩(wěn)定的壓力和流量輸送氣體