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日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱思耐達精密儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/6/19 8:18:55
  • 訪問次數(shù)579
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思耐達精密儀器(上海)有限公司專注于光學測量儀器的銷售與服務, 思耐達主要致力于為合作伙伴提供SEM掃描電子顯微鏡、AFM原子力顯微鏡、TEM透射電子顯微鏡、FIB聚焦離子束顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D顯微鏡、白光干涉儀、臺階膜厚測量儀等光學儀器的銷售和相關的測量服務,產品被廣泛應用于化工、電子、半導體、醫(yī)療、材料、生物技術、食品以及政府單位和高??蒲性核阮I域。思耐達的由來:誠:誠乃思耐達人做人做事之根本,古人說:索道于當世者,莫過于誠!思耐達人不自欺,亦不欺人。思耐達人勇于面對自身的不足,虛心接受他人的批評與建議。敬:“敬人者,人恒敬之”,月滿則虧,物盛則衰!要想成大事,需懷敬畏之心,收斂鋒芒,尊重他人,低調做人,高調做事。思耐達人恭順帶人,充分尊重事實和每一位伙伴的每一個需求,力爭雙贏。靜:遇事有靜氣,泰山崩于前而不亂,沉穩(wěn)淡定,耐心應對。思耐達人面對他人的質疑,不亂方寸,不改初心,洞察問題本質,坦然地為合作伙伴提供合理的解決方案。謹:禍從口出,謹小慎微,凡事不張揚。思耐達人只闡述客觀事實,絕不詆毀競爭品牌和對手。恒:持之不懈,意志篤定,困苦不退縮,挫敗不止步。人而無恒,終身一無所成。思耐達人定不嫌繁瑣、持之以恒為每一位合作伙伴提供全面的售前診斷和售后支持,始終如一。 思耐達——認真地思考每位伙伴的需求,做好每個細節(jié),耐心地為每位合作伙伴提供合理的解決方案,最終達成合作共贏!品質能通過行業(yè)考驗企業(yè)提供的服務:光學精密儀器銷售.售前產品測試.第三方測量服務.售后技術支持維修.培訓等服務。我們的宗旨&愿景企業(yè)宗旨:一切以合作伙伴的需求為中心.提供專業(yè)的解決方案并協(xié)助合作伙伴解決問題。企業(yè)愿景:"但愿人長久,千里共同途".服務大眾.力爭成為同行業(yè)優(yōu)全的光學儀器整體測量方案服務商。企業(yè)文化企業(yè)文化:“誠、敬、靜、謹、恒”,五字行事準則。企業(yè)團隊:現(xiàn)有行業(yè)銷售工程師3名,行業(yè)售前技術工程師3名,行業(yè)售后工程師3名等。
電子掃描顯微鏡
產品介紹 隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。
日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列 產品信息

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產品介紹:


隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

* 設備照片包含選配項


產品特點:


超高分辨成像


日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。



0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。


高襯度的低加速電壓背散射圖像


3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。



3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)


快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*


由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像。



5納米制程SRAM的內部結構觀察 (加速電壓:30kV,掃描時間<1秒)


的自動化功能*


EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。



靈活的用戶界面


原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。



1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機??梢酝ㄟ^使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。


產品規(guī)格:




機型SU8600系列
電子光學系統(tǒng)二次電子像分辨率0.6 nm@15 kV
0.7 nm@1 kV *
放大倍率20 to 2,000,000 x
電子槍冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。
加速電壓0.5 to 30 kV
著陸電壓 *0.01 to 20 kV
探測器(部分為選配項)上探測器(UD)
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能
下探測器(LD)
頂探測器(TD)
TD能量過濾器
鏡筒內背散射電子探測器(IMD)
半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
陰極熒光探測器(CLD)
掃描透射探測器(STEM Detector)
附件(部分為選配項)導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件(部分為選配項)EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素)
樣品臺馬達驅動軸5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T)
馬達驅動軸X:0~110 mm
Y:0~110 mm
Z:1.5~40 mm
T:-5~70°
R:360°
樣品室樣品尺寸直徑:150mm

* 減速模式下


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