產(chǎn)品簡介
小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。紅外線燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計的,升溫速率可達到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗.
小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強風(fēng)冷設(shè)計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計，
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
| 產(chǎn)品名稱 | RTP-小型快速退火爐 |
| 額定功率 | 9KW |
| 額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
| 額定溫度 | 1000°C |
| 連續(xù)工作 | 950°C(<1 小時) |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 100mm |
| 加熱元件 | 紅外燈管 |
| 溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫； |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸 | Φ110*380MM |
| 爐管材質(zhì) | 石英管 |
| 滑動距離 | 355mm |
| 滑動方式 | 手動滑動 |
| 建議升溫速度 | 室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec |
| 外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
| 重量 | 45Kg |
| 標準配置 | 氣路一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。 |
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移動站：小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐
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