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實驗室CVD系統(tǒng)：多路混氣系統(tǒng)+真空系統(tǒng)

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品牌: 廠商性質
其他

型號: 訪問次數(shù)
467

產地 河南洛陽市: 更新時間
2024/3/15 9:45:19

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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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產品簡介

實驗室CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)組成，實驗室CVD系統(tǒng)采用常規(guī)管式爐配合相應的流量控制系統(tǒng)和配套真空泵實現(xiàn)整套的氣相沉積系統(tǒng)，加熱可選擇1200℃、1400℃、1700℃各種溫區(qū)管式爐，氣體配置可選1路、2路、3路、5路浮子流量計或質量流量計，真空系統(tǒng)可以選擇0.5-8升機械泵、擴散泵、分子泵機組

實驗室CVD系統(tǒng)：多路混氣系統(tǒng)+真空系統(tǒng)詳細信息

CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備，實驗室CVD系統(tǒng)包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

爐膛可移動式CVD介紹：

爐膛可移動式CVD系統(tǒng)是一個特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻。

爐膛可移動式CVD技術參數(shù)：

CVD名稱	1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng)
電爐名稱	爐膛可移動式雙管管式爐
爐管尺寸	雙石英管外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm
加熱區(qū)	220+220mm
供電電源	230V，單相，50HZ
功率	4.0 kw
加熱元件	電阻絲
升溫速率	0-20°C/min
熱電偶	K型
水冷系統(tǒng)	1.水冷機 CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應，冷卻氣體直接通入內管.
真空系統(tǒng)	1. 防腐數(shù)顯真空計 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體
雙路流量計混氣系統(tǒng)（可選質子流量計或浮子流量計）

CVD化學氣相沉積系統(tǒng)質量流量控制器技術參數(shù)

名稱	雙通道	三通道	四通道	五通道
CVD化學氣相沉積系統(tǒng) 多通道質量流量控制	工作溫度：5~45ºC 額定壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度：5~45 ºC 額定壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復精度:±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度:5~45 ºC 額定壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度: 5~45 ºC 額定壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設定和查看都集中在觸摸屏上
機械壓力表	有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內部連接管道為Φ不銹鋼管外部通氣管道為Φ聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
質量認證	CE認證
質保期	一年質保期，終身維護