旋片真空泵泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動（通常為徑向）并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。通常，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以旋片真空泵一般是油封式機械真空泵。

旋片真空泵其工作壓強范圍為101325－1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或較高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、品質(zhì)量優(yōu)良良、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和研究部門。

旋片真空泵結(jié)構(gòu)原理

旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除確定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

旋片真空泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的90%、50%和20%。

旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片優(yōu)品與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。

旋片真空泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓優(yōu)良于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，之后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另主打產(chǎn)品（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了優(yōu)良真空度。