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等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統(tǒng))

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海皓越電爐技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/3/11 20:38:55
  • 訪問次數(shù)286
產(chǎn)品標簽:

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上海皓越電爐技術(shù)有限公司(簡稱皓越科技)是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售電爐為一體的企業(yè)。公司地處中國經(jīng)濟發(fā)達上海,已擁有大型現(xiàn)代化標準廠房,成套的加工設(shè)備,*的質(zhì)量檢測體系;匯萃了一批長期從事熱處理爐、真空爐及特種爐制造和服務(wù)的技術(shù)精英,其中,研究生、本科以上學歷的工程技術(shù)人員26人,技術(shù)工人65余人的精英團隊,具備年產(chǎn)200套熱處理爐、60套大型真空爐的生產(chǎn)能力。并與上海復旦大學、上海同濟大學建立了長期友好的科技合作與人才培養(yǎng)基地。公司一直專注于半導體材料、碳材料、陶瓷及復合材料和鋰電材料四大領(lǐng)域,積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗和技術(shù),竭誠服務(wù)于客戶,提供*的一體式產(chǎn)業(yè)解決方案。在半導體材料領(lǐng)域,皓越科技致力為客戶提供晶體生長設(shè)備和高溫退火設(shè)備,適用于藍寶石、碳化硅、氮化鎵和氮化鋁晶體的生長和退火。還推出氧化/擴散爐、LPCVD/PECVD等薄膜生長摻雜設(shè)備以及晶圓快速熱處理RTP設(shè)備。在碳材料領(lǐng)域,皓越科技擁有提供石墨烯、碳納.米管的CVD及PECVD成套生長系統(tǒng),并提供金剛石工具生產(chǎn)用真空爐和熱壓爐,以及碳材料用高溫石墨化爐等。在鋰電材料領(lǐng)域,我們?yōu)榭蛻籼峁┻B續(xù)正極材料生產(chǎn)窯爐,有輥道窯、推板窯等,以及用于負極材料生產(chǎn)用真空爐等。在陶瓷基復合材料領(lǐng)域,擁有碳化硅陶瓷的無壓燒結(jié)、反應(yīng)燒結(jié)和重結(jié)晶燒結(jié)設(shè)備,氮化硅粉體合成爐以及陶瓷制品燒結(jié)爐,碳化硼陶瓷熱壓燒結(jié)爐等。上海皓越電爐技術(shù)有限公司所提供的產(chǎn)品技術(shù),質(zhì)量可靠,品種齊全。公司成立以來在市場上巳獲得用戶認可,其產(chǎn)品質(zhì)量及服務(wù)獲得用戶的肯定,我們的優(yōu)勢不僅體現(xiàn)在高精度的溫度控制領(lǐng)域,更多的是我們在工藝、真空,自動化控制及計算機溫度分析系統(tǒng)有杰出的人才。皓越人的愿景:成為新材料、新能源熱處理領(lǐng)域。皓越人的使命:推動新材料、新能源領(lǐng)域的快速發(fā)展;為新材料、新能源行業(yè)提供熱處理解決方案。皓越人的價值觀:客戶為天:一切技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)理念均以客戶的需求為導向,我們堅持以客戶為主要,持續(xù)為客戶創(chuàng)造價值,積極、快速的響應(yīng)客戶需求。為客戶提供服務(wù),是我們的工作方向和價值*,成就客戶就是成就我們自己。誠信為本:只有堅持誠信為本,才能言出必行,信守承諾。誠信是我們很重要的無形資產(chǎn),皓越人堅持以誠信贏得客戶。創(chuàng)新為先:為了更好的滿足客戶需求,我們需要積極進取、勇于開拓與創(chuàng)新。任何的技術(shù)、產(chǎn)品、解決方案只有轉(zhuǎn)化為商業(yè)成功才能產(chǎn)生價值。我們堅持以客戶需求為導向,并圍繞客戶需求持續(xù)創(chuàng)新。合作為贏:為了實現(xiàn)客戶需求,除了持續(xù)創(chuàng)新,我們還要與供應(yīng)商、合作商密切合作,只有合作才能實現(xiàn)雙贏,合作是提升流程效率的有力保障。發(fā)展為道:一切努力與奮斗,為了發(fā)展,我們成就了客戶,自身也在發(fā)展。發(fā)展是硬道理,只有持續(xù)發(fā)展,我們與客戶才能攜手進步,員工與企業(yè)才能實現(xiàn)夢想。皓越人的行為準則:三大作風:認真,快,堅守承諾;一個目標:客戶滿意100;一個保證:保證完成任務(wù)。皓越選人用人理念:用對人,做對事!得人才者得天下!一切競爭,歸根結(jié)底是人才競爭。選人用人,關(guān)乎皓越的成?。话押线m的人放在合適的崗位上。
電阻爐
簡要描述:PECVD工藝中由于等離子體中高速運行的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng);借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成離子體,而等離子體化學活性很強,很容易反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點;
等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統(tǒng)) 產(chǎn)品信息
品牌HAOYUE/皓越升溫速度(達到溫)10℃min
加熱方式合金電阻絲控溫精度±1℃
溫度1200℃價格區(qū)間5萬-10萬
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,地礦,能源,電子,冶金

一、產(chǎn)品應(yīng)用

   PECVD工藝中由于等離子體中高速運行的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng);借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成離子體,而等離子體化學活性很強,很容易反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點;

二、產(chǎn)品特點

   1、整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。

   2、爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn),可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻。爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料。

   3、采用高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小。

   4、采用SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空,一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷。

   5、加熱元件采用康奈爾發(fā)熱絲,表面負荷高、經(jīng)久耐用。設(shè)計溫度1200℃,升溫速率10℃/min。

   6、可選配多路質(zhì)量流量計,數(shù)字顯示、氣體流量自動控制;內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥,可通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。

   7、等離子射頻電源:大射頻功率達500W,輸出頻率13.56MHz±0.005%,輸入電源 208-240VAC, 單相50/60Hz。

三、技術(shù)參數(shù)

型號

HTF1200-2.5/20-2M-LV-PE 

HTF1200-5/20-4M-LV-PE 

HTF1200-6/40-2M-HV-PE 

HTF1200-8/40-4M-HV-PE 

設(shè)計溫度(℃)

1200 

1200 

1200 

1200 

控溫精度(℃)

±1 

±1

±1 

±1 

加熱區(qū)直徑(mm)

25 

 50

60 

80 

加熱區(qū)長度(mm)

200 

 200 

400 

400 

加熱管長度(mm)

450 

450 

1000 

1000 

恒溫區(qū)長度(mm)

80 

80 

150 

150 

額定電壓(V)

220 

220 

220 

220

額定功率(KVA)

1.2 

1.2 

3 

3 

射頻電源功率(W)

5~300 

5~300 

5~500 

5~500 

真空機組

HTF-101 

HTF-101 

HTF-104 

HTF-104 

供氣系統(tǒng)

HTF-2F 

HTF-4F

HTF-2M 

HTF-4M 

 



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