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產品簡介
| 型號 | ZJP-30 | ZJP-70 | ZJP-150 | ZJP-300 | ZJP-600 | ZJP-1200A | ZJP-2500 | |
| 極限壓力(pa) | Pa | 5X10-2 | 5X10-2 | 5X10-2 | 5X10-2 | 5X10-2 | 5X10-2 | 5X10-2 |
| Torr | 307X10-4 | 307X10-4 | 307X10-4 | 307X10-4 | 307X10-4 | 307X10-4 | 307X10-4 | |
| 抽氣速率(L/s) | 30 | 70 | 150 | 300 | 600 | 1200 | 2500 | |
| 溢流閥壓差 | pa | 4X103 | 4X103 | 4X103 | 4X103 | 2.7X103 | 2.7X103 | 2.7X103 |
| Torr | 30 | 30 | 30 | 30 | 20 | 20 | 20 | |
| 進/排氣口徑(mm) | 50/40 | 80/50 | 100/100 | 150/150 | 200/200 | 250/200 | 320/320 | |
| 電機功率(kw) | 0.75 | 1.1 | 2.2 | 4 | 7.5 | 11 | 22 | |
| 配用前級泵 | 2X-8D | 2X-15A | 2X-15A ,2X-30A | 2X-15A ,2X-70C | 2X-70C | ZJP-300/2X-70C | ZJP600/X-150 | |
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