氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：

*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)

*高精度   

*重復(fù)性好 

*響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠

*低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域：

*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制

*分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制

*各種形式的真空鍍膜設(shè)備

*環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制

*特種材料表面處理裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等

2．S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))型號(hào)

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。

質(zhì)量流量計(jì)主要精確測(cè)量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能還具備自動(dòng)控制氣體流量的功能。

型式批準(zhǔn)證書:2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號(hào)：京制號(hào)

3．主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)mL/min  (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min   （升/分鐘）  (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度 ---   0℃ 

氣壓 —  101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)

注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。