輸入功率
 

·單相110V AC,50/60Hz

·1000W（含真空泵和冷水機(jī)）

磁控濺射靶
 

·包括三個(gè)帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭，通過快速夾具插入石英室

·射頻電纜更換可在CYKY購(gòu)買

·法蘭上內(nèi)置一個(gè)手動(dòng)百葉窗

·包括一臺(tái)10L/min數(shù)控循環(huán)冷水機(jī)，用于冷卻濺射頭

濺射靶材

·靶材尺寸要求：2" 直徑 x 1/8" *大厚度

·濺射距離范圍：50-80mm可調(diào)

·濺射角度范圍：0-25°可調(diào)

·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測(cè)試

·可根據(jù)要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材，但需額外付費(fèi)

·對(duì)于目標(biāo)鍵合，包括 1 mm 和 2 mm 銅背板。

真空腔體

·真空腔體：300 毫米外徑 x 500 毫米高，由不銹鋼制成

·密封法蘭：直徑274毫米。由鋁制成，帶有高溫硅膠O型圈

·包括不銹鋼屏蔽籠，99% 屏蔽來自腔室的射頻輻射

·*大真空度：1.0E-5 Torr，可選配渦輪泵和腔體烘烤

樣品臺(tái)

·樣品臺(tái)是一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的加熱臺(tái)，由陶瓷加熱器制成，帶有不銹鋼蓋

·樣品臺(tái)尺寸：直徑50毫米，適合*大 2" 晶圓

·轉(zhuǎn)速：1-10轉(zhuǎn)可調(diào)，涂層均勻

·支架溫度可從室溫調(diào)節(jié)至*高 600 °C（600 °C 時(shí)*高 5 分鐘；500 °C 時(shí)*高 2 小時(shí)），通過數(shù)字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C

真空泵 

·內(nèi)置KF40真空接口，用于連接真空泵。

·真空度：1.0E-2 Torr 含雙級(jí)機(jī)械泵

1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵

整機(jī)尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

包裝重量

大約 145 kg

保修單

一年有限保修，終身支持

是否支持定制

是