真空腔體

• 腔體為一高純石英管
• 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H

真空法蘭

• 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
• 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr
• 兩個(gè)法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)
• 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度

混氣系統(tǒng)

可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）

加熱元件和載樣臺(tái)

• 由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱
• 額定功率800 W 總功率：1600W
• 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上
• 一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部
• 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻
• 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來(lái)盛裝蒸發(fā)料
  
  

熱電偶

兩個(gè)S型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

溫控系統(tǒng)

• 兩個(gè)控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫
• 可以選購(gòu)PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中

工作溫度

• 兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的溫度： <= 650ºC
• 兩個(gè)加熱區(qū)域溫差: <= 350 ºC

加熱和冷卻速率

• 加熱速率: > 8 ºC /S
• 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)

電源

208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開(kāi)關(guān)）

可選配件

本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )

CE