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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>其它儀器儀表>電阻爐/馬弗爐/退火爐> OTF-1200X-4-RTP 小型1000℃RTP爐

  • OTF-1200X-4-RTP 小型1000℃RTP爐
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號(hào)

訪問(wèn)次數(shù)

538

產(chǎn)地

天津市

更新時(shí)間

2023/2/2 8:40:11

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OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4石英管和真空法蘭,它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片(達(dá)3)的退火而設(shè)計(jì),采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為50C/秒.30段溫度控制,精度為+/-1C.計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線

OTF-1200X-4-RTP 小型1000℃RTP爐詳細(xì)信息

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4" 石英管和真空法蘭, 它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片(達(dá)3“)的退火而設(shè)計(jì),采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。

技術(shù)參數(shù):



爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層莫來(lái)石鋼構(gòu)(不帶水冷或風(fēng)冷)
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm)

加熱區(qū)

12" length with 4"X12”恒溫區(qū)( +/-5ºC )

石英管和樣品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
  • 3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上,石英材料
  • 一片3" AlN 片放在樣品架上用來(lái)放置需要退火的樣品。
  • AlN 具有很高的熱導(dǎo)率,所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+/- 5°C

真空法蘭

  • 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作,兩個(gè)高溫“O”型圈密封
  • 滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

水冷

如果要求通冷卻水.

  • 請(qǐng)確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI
  • 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)(為了節(jié)約用水).
  • 警告: 這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時(shí)間不超過(guò) 600 秒,否則“ O”圈將被燒融

流量計(jì)

范圍: 16 - 160 ml/min

真空表

  • 數(shù)字真空表,測(cè)量范圍:10mtorr~800 torr .
  • 可選本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
真空度
  • 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr .
  • 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr .

溫度控制

PID 自動(dòng)控制, 可控硅 SCR

熱偶

進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

  • PID 自動(dòng)控制,30段程序帶過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
  • 熱偶: 進(jìn)口K type
  • 自整定功能
  • 控溫精度: +/- 1°C
  • RS485 串口和溫控軟件

升溫速度

室溫~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec
升溫曲線 直接升溫到1000℃分階段升溫?cái)?shù)據(jù)

降溫速度

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一個(gè)大氣壓下)
選擇: 為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐

溫度

1100ºC ,額定1000°C

電源

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))

尺寸

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

重量

45 kg (100 lbs)
保修期
電器部分一年質(zhì)保期 (耗材:如爐管,“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi))
認(rèn)證
CE 認(rèn)證

用戶評(píng)論

發(fā)布評(píng)論
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