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產(chǎn)品簡介
GSL-1100X-8.5-SR是一款CE認證的滑軌爐,其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐, multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing, 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 它溫度 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設置30段升降溫程序,控溫精度+/-1°C。
技術參數(shù)
| 爐體結構 |
|
| 工作電壓 | AC 220V |
| 功率 | 8KW |
| 爐管規(guī)格 |
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| 加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
| 工作溫度 |
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| 加熱區(qū) |
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| 控溫儀 |
雙K型熱電偶測溫.
可選: PC接口和軟件 |
| 密封法蘭和進氣接口 |
|
| 產(chǎn)品尺寸 |
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| 凈重 | 354Kg |
| 保修期 | 整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
| Certificate | CE |
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