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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>其它儀器儀表>電阻爐/馬弗爐/退火爐> GSL-1100X-8.5-SR 8.5帶滑動法蘭真空管式爐

  • GSL-1100X-8.5-SR 8.5帶滑動法蘭真空管式爐
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品牌

廠商性質

其他

型號

訪問次數(shù)

392

產(chǎn)地

天津市

更新時間

2023/1/29 8:54:39

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-8.5-SR是一款CE認證的滑軌爐,其爐管外徑為8.5O.D的滑軌真空管式爐,multi-gasfedthroughSStubeforLPCVDprocessing,它可以在6的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下).它溫度1100C,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設置30段升降溫程序,控溫精度+/-1C

GSL-1100X-8.5-SR 8.5帶滑動法蘭真空管式爐詳細信息

GSL-1100X-8.5-SR是一款CE認證的滑軌爐,其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐, multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing, 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 它溫度 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設置30段升降溫程序,控溫精度+/-1°C。

技術參數(shù)

爐體結構
  • 雙層殼體,循環(huán)風冷.
  • 爐體表面溫度< 70 ºC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能
  • 滑軌式法蘭結構,方便放取樣品
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
工作電壓 AC 220V
功率 8KW
爐管規(guī)格
  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" 長
  • 標配內(nèi)包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購

加熱元件 NiCrAl 電阻絲
工作溫度
  • 極限溫度: 1100°C
  • 工作溫度: 400 -1000°C
  • 升降溫速率: 10°C/min
加熱區(qū)
  • 加熱區(qū)總長: 900mm (35'')
  • 恒溫區(qū)長度: 中心350mm (精度±1°C)
  • 在1000℃時爐膛溫度分布曲線
控溫儀
  • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
  • 設有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)

雙K型熱電偶測溫.
  • 溫控精度: ±1°C
  • 軟件接口模塊和PC機不在標配內(nèi)需額外訂購

可選: PC接口和軟件

密封法蘭和進氣接口
  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi)
  • 右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標配內(nèi)包括KF25真空擋板閥和1.2 米KF-40 不銹鋼真空軟管(波紋管)
  • 包括一個石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
  • 左側法蘭安裝在可移動的滑軌機構上. 法蘭上設有五路進氣接口每個進氣口采用精密不銹鋼針閥密封.
  • 左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片由于阻止熱輻射. P建議采用水冷機組,為了美好的未來,請節(jié)約每一滴用水

產(chǎn)品尺寸
  • 爐體: 1300L x 680 W x 920 H mm
  • 滑動機構: 600mm L
  • 注意: 你必須把爐體和滑動機構放置在同一基準面上。
凈重 354Kg
保修期 整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等)
Certificate CE

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