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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>其它儀器儀表>電阻爐/馬弗爐/退火爐> GSL-1100X-8.5-S 8.5單溫區(qū)CVD真空管式爐

  • GSL-1100X-8.5-S 8.5單溫區(qū)CVD真空管式爐
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廠商性質(zhì)

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型號(hào)

訪問次數(shù)

368

產(chǎn)地

天津市

更新時(shí)間

2023/1/29 8:57:27

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-8.5-S是一款爐管外徑為8.5的真空管式爐,它可以在6的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下).該爐的工作溫度為1100C,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度:1C

GSL-1100X-8.5-S 8.5單溫區(qū)CVD真空管式爐詳細(xì)信息

GSL-1100X-8.5-S 是一款爐管外徑為 8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)
  • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷.
  • 爐體表面溫度< 70 ºC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能
工作電壓 AC 220V
功率 8KW
爐管規(guī)格
  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40" 長
  • 標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管, 多余的管子可單獨(dú)訂購

加熱元件 NiCrAl 電阻絲
工作溫度
  • 極限溫度: 1100°C
  • 工作溫度: 400 -1000°C
  • 升降溫速率: 10°C/min(max)
加熱區(qū)
  • 加熱區(qū)總長: 600mm (24'')
  • 恒溫區(qū)長度: 中心200mm (精度±1°C)
  • 在800℃時(shí)爐膛溫度分布曲線 ( 點(diǎn)擊下圖查看)

控溫儀
  • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
  • 設(shè)有一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
  • 雙K型熱電偶測溫.
  • 溫控精度: ±1°C
  • 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購

可選: PC接口和軟件

密封法蘭和進(jìn)氣接口
  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi)

    右端法蘭上設(shè)有一個(gè)鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶)
    包括兩個(gè)高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射,
  • Φ8"石英管堵
產(chǎn)品尺寸
  • 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm
凈重 250Kg
保修期 整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等)
Certificate

用戶評(píng)論

發(fā)布評(píng)論
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