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產(chǎn)品簡介
| 型號 | 極限壓力 | 抽氣速率 (L/S) | 進氣口徑 (mm) | 排氣口徑 (mm) | 配用功率 (kw) | |
| Pa | Torr | |||||
| 2H-15 | 6.7×10ˉ2 | 5×10ˉ2 | 15 | 50 | 25 | 2.2 |
| 2H-30A | 6.7×10ˉ2 | 5×10ˉ2 | 30 | 63 | 50 | 4 |
| 2H-70A | 6.7×10ˉ2 | 5×10ˉ2 | 70 | 80 | 76 | 7.5 |
| H-50 | 8×10ˉ2 | 6×10ˉ2 | 50 | 80 | 50 | 5.5 |
| H-70G | 8×10ˉ2 | 6×10ˉ2 | 70 | 80 | 76 | 5.5 |
| H-150 | 8×10ˉ2 | 6×10ˉ2 | 150 | 100 | 80 | 15 |
| H-150G | 8×10ˉ2 | 6×10ˉ2 | 150 | 100 | 80 | 11 |
| H-150L | 8×10ˉ2 | 6×10ˉ2 | 150 | 100 | 80 | 11 |
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移動站:H型滑閥真空泵系列
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