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鍍膜玻璃、芯片、碳膜、納米標(biāo)尺、精密光學(xué)元件、IC封裝芯片、光亮金屬表面、輕觸開(kāi)關(guān)元器件、劃痕、手印、灰塵等材料表面潔表面潔凈度檢查顯微鏡,一般常用的有體視顯微鏡和金相顯微鏡或者多功能一體機(jī)。體視顯微鏡放大倍數(shù)在7-55X之間??梢詸z測(cè)5um及以上的污染物,并且檢查的視場(chǎng)范圍較大。金相顯微鏡發(fā)大倍數(shù)在5X-1000X之間,可以很容易發(fā)現(xiàn)0.5um的污染物,但視場(chǎng)范圍小。多功能顯微鏡兼顧體視顯微鏡與金相顯微鏡放大倍率,可通過(guò)顯示屏檢查污染物。
























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