特點
1.節(jié)能環(huán)保的設計
2.高效率的自動功能
3.簡捷的操作界面
4.高分辨低真空觀察
技術(shù)參數(shù)
| 分辨率 | 4.0nm(加速電壓20kV,高真空模式,二次電子像) |
| 15.0nm(加速電壓1kV,高真空模式,二次電子) | |
| 5.0nm(加速電壓20kV,低真空模式,背散射電子像) |
| 放大倍率 | 底片倍率:6 – 300,000x |
| 顯示器倍率:16 – 800,000x |
| 加速電壓 | 0.3-20kV |
| 低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
| 標配三軸自動馬達 | |
| 行程 | X: 0-40mm |
| Y: 0-50mm | |
| R: 360 ° | |
| Z: 5-15mm | |
| T: -15- 90° | |
| 電子光學系統(tǒng) | 電子槍:預對中鎢燈絲 |
| 信號檢測系統(tǒng):二次電子探測器;高靈敏度背散射探測器 |
| 真空系統(tǒng) | 全自動閥門控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵:61L/S 1臺 |
| 機械泵:100L/min 1臺 | |
| 安全裝置:帶停電、漏電保護的真空保護功能 | |
| 操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn);動態(tài)聚焦;畫質(zhì)優(yōu)化功能 |
| 數(shù)據(jù)輸入;2點間測量、角度測量、文字;預設倍率; | |
| 樣品臺位置導航功能(SEM MAP);電子束標記 |


















采購中心
