光譜共焦傳感器控制器技術規(guī)格
| 型號 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
|---|---|
| 測量模式 | 位移/厚度 |
| 采樣頻率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
| 編碼器信號輸入 | 最多3軸-TTL信號輸入 |
| 校準表（值） | 20 |
| 光源 | 白色LED光源 |
| 數(shù)字量輸出 | 30bits分辨率 |
| 模擬量輸出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率） |
| 數(shù)字信號輸出 | USB2.0/RS232/RS422 |
| I/O同步接口 | 輸入輸出TTL同步 |
| 通道選擇 | 1/2/4 |
| 工作溫度 | 5℃-40℃ |
| 存儲溫度 | -30℃-70℃ |
| 防水等級 | IP40 |
| 尺寸 | 162*111.5*124mm |
| 控制器重量 | 1400g |
| 電源等級 | 24V DC/20V |
光譜共焦傳感器測量頭技術參數(shù)
| 型號 | CL0 | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 量程（μm） | 100 | 150 | 400 | 1400 | 4000 | 12000 | 24000 | ||||||||
| 工作距離（mm） | 2.69 | 3.35 | 10.8 | 12.0 | 16.2 | 25.9 | 21.5 | ||||||||
| 可測傾角（°） | 42 | 42.5 | 28 | 25 | 21 | 14 | 8.5 | ||||||||
| 放大器型號 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 |
| 光斑尺寸（μm） | 1.8 | 2.2 | 1.9 | 2.8 | 2.3 | 3.4 | 6.9 | 6.8 | 8 | 8 | 14 | 14 | 24.5 | 16 | 28 |
| 橫向分辨率（μm） | 0.9 | 1.1 | 0.8 | 1.4 | 1.2 | 1.7 | 3.5 | 2.6 | 4 | 4 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | 13 | 14 |
| 光量收集率 | 0.5 | 1.7 | 3.3 | 10 | 2.8 | 7.9 | 41 | 10 | 57 | 25 | 91 | 33 | 100 | 9.8 | 43 |
| 位移測量 | |||||||||||||||
| 不平均（nm） | 5.0 | 6.0 | 7.0 | 8.0 | 17 | 20 | 25 | 50 | 60 | 110 | 135 | 370 | 425 | 700 | 800 |
| 10次平均（nm） | 1.7 | 2.0 | 2.3 | 2.7 | 5.7 | 6.7 | 8.3 | 17 | 20 | 37 | 45 | 123 | 142 | 233 | 277 |
| 精度（nm） | 16 | 14 | 25 | 20 | 55 | 45 | 40 | 120 | 100 | 250 | 200 | 750 | 550 | 1600 | 1200 |
最小可測粗糙度Ra(nm) |
12 |
30 |
90 |
170 |
600 |
1100 | |||||||||
| 厚度 | |||||||||||||||
| 最小可測厚度（μm） | 5 | 5 | 7.5 | 9 | 14 | 14 | 22 | 38 | 40 | 110 | 120 | 350 | 550 | 590 | 725 |
| 可測厚度（μm） | 100 | 100 | 175 | 175 | 510 | 510 | 510 | 2000 | 2000 | 5700 | 5700 | 16500 | 16500 | 34000 | 34000 |
| 長度（mm） | 263.6 | 229 | 253.1 | 217.1 | 243.3 | 208.9 | 176.1 | 205.9 | 176.1 | 145.5 | 131.7 | 145.5 | 131.7 | 167.6 | 151.8 |
| 直徑（mm） | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
| 重量（g） | 227 | 192 | 268 | 195 | 248 | 190 | 189 | 215 | 214 | 155 | 140 | 175 | 160 | 195 | 180 |
(1)表中給出的數(shù)值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的可測傾角可達87°：
(3)在量程中間位置時的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠端光斑更大，從中心分別到近端遠端差異10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量，是相對單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時，選擇低光度收集率的型號，為了避免飽和，測量擴散或低反射的樣品時，選擇具有高光度收集率型號，以避免一個非常低的信號與噪聲比例；
(5)軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心，以的速率進行測量，內(nèi)部的平均分別設定為1-10。此參數(shù)為校準后立即測量，并對應交付每個傳感器的校準證書；
(6)精度是由1nm精度的編碼器做比較校準，由所述傳感器測量距離時，在整個測量范圍內(nèi)的誤差。使用以下設置：自動適應LED模式，的速度，傾角為0,內(nèi)部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準后立即測量，并每個傳感器的校準證書交付；
(7)最小可測量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；
(8)在的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應除以1.5的厚度時）；
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
共焦傳感器光纖線規(guī)格（可選配以下）
| 型號 | 長度 | 內(nèi)徑 | 外徑 | 外殼 | 連接器類型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
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