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  • URE-2000/A12 紫外單面光刻機
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2021/7/23 20:10:29

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URE-2000/A12 紫外單面光刻機,曝光面積: 300mm300mm;掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;

URE-2000/A12 紫外單面光刻機詳細信息

URE-2000/A12 紫外單面光刻機

1、設(shè)備主要技術(shù)指標:

(1) 曝光面積: 300mm×300mm;

(2)分辨力:±2μm;

(3)對準精度:±2μm;

(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;

(5)樣片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;

(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂層;

(7)掩模樣片整體運動范圍:X:10mm;Y:10mm;

(8)掩模相對于樣片運動行程:X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°;

(9)汞燈功率:1000W(直流);

(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;

(11)曝光峰值波長:365nm;

(12)光源平行度:<2°;

(13)曝光方式:定時(倒計時方式 0.1s—9999.9s);

(14)光刻版夾具兼容性

2.技術(shù)主要組成部分

(1)曝光頭系統(tǒng)包括:

。冷光橢球鏡;

。 德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈;

。 XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺;

。 光學(xué)系統(tǒng)(冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡);

。 冷卻風(fēng)扇。

(2)對準工件臺系統(tǒng)包括:

。 掩模樣片相對運動臺;

。(XY),轉(zhuǎn)動臺;

。 樣片調(diào)平機構(gòu);

。 樣片調(diào)焦機構(gòu);

。承片臺 3 個: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;

。 掩模夾 3 個: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

(3)CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括:

。4 倍顯微鏡 2 只;

。照明光源 2 套;

。 CCD 相機 2 只;

。22 英寸液晶顯示器。

(5)電控系統(tǒng):

。 汞燈觸發(fā)電源(1000W);

。 單片機控制系統(tǒng);

。控制柜桌。

(6)氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:

。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān),電磁閥驅(qū)動,氣動儀表等

(7)其他配置與附件

。真空泵一臺;

??諌簷C一臺;

。配套氣管 10m;

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