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Filmetrics 薄膜厚度測量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 系列

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/17 20:15:57
訪問次數(shù)613

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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Filmetrics 薄膜厚度測量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 系列

Filmetrics 薄膜厚度測量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 系列產(chǎn)品信息

Filmetrics 薄膜厚度測量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 系列

F20 系列

只需按下一個(gè)按鈕，您在不到一秒鐘的同時(shí)測量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows™系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.

選擇您的F20主要取決于您需要測量的薄膜的厚度（確定所需的波長范圍）

F20系列型號(hào)規(guī)格

型號(hào)	厚度范圍*	波長范圍
F20	15nm - 70µm	380-1050nm
F20-EXR	15nm - 250µm	380-1700nm
F20-NIR	100nm - 250µm	950-1700nm
F20-UV	1nm - 40µm	190-1100nm
F20-UVX	1nm - 250µm	190-1700nm
F20-XT	0.2µm - 450µm	1440-1690nm
F3-sX 系列	10µm - 3mm	960-1580nm

F30 系列

監(jiān)控薄膜沉積，有力的工具

F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測量學(xué)沉積率，沉積層厚度，光學(xué)常數(shù)（N或K值）和半導(dǎo)體以有電介層的均勻性。

樣品層

分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積：可以測量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜。這實(shí)際上包括從氮化鎵侶到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料。

F30系列型號(hào)規(guī)格

*取決于薄膜種類
型號(hào)		厚度范圍*		波長范圍
	F30		15nm-70µm		380-1050nm
	F30-EXR		15nm - 250µm		380-1700nm
	F30-NIR		100nm - 250µm		950-1700nm
	F30-UV		3nm-40µm		190-1100nm
	F30-UVX		3nm - 250µm		190-1700nm
	F30-XT		0.2µm - 450µm		1440-1690nm

常見選購配件：鏡頭組：

各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):

。極大地提高生產(chǎn)力，
。低成本 —幾個(gè)月就能收回成本
。A精確 — 測量精度高于 ±1%
?？焖?— 幾秒鐘完成測量
。非侵入式 — *在沉積室以外進(jìn)行測試

F40 系列

將您的顯微鏡變成薄膜測量工具

F40 產(chǎn)品系列用于測量小到 1 微米的光斑。對(duì)大多數(shù)顯微鏡而言，F(xiàn)40 能簡單地固定在 c 型轉(zhuǎn)接器上，這樣的轉(zhuǎn)接器是顯微鏡行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件。

F40 配備的集成彩色攝像機(jī)，能夠?qū)y量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確監(jiān)控。在 1 秒鐘之內(nèi)就能測定厚度和折射率。像我們所有的臺(tái)式儀器一樣，F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)完成設(shè)定。

F40系列型號(hào)規(guī)格

*取決于薄膜種類
型號(hào)	厚度范圍*	波長范圍
F40	20nm-40µm	400-850nm
F40-EXR	20nm-120µm	400-1700nm
F40-NIR	40nm-120µm	950-1700nm
F40-UV	4nm-40µm	190-1100nm
F40-UVX	4nm-120µm	190-1700nm

F50 系列

自動(dòng)化薄膜測繪

Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。標(biāo)準(zhǔn)的 F50是的產(chǎn)品。一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

F50系列型號(hào)規(guī)格

*取決于薄膜種類
型號(hào)		厚度范圍*		波長范圍
	F50		20nm-70µm		380-1050nm
	F50-UV		5nm-40µm		190-1100nm
	F50-NIR		100nm-250µm		950-1700nm
	F50-EXR		20nm-250µm		380-1700nm
	F50-UVX		5nm-250µm		190-1700nm

F50-XT	0.2µm-450µm	1440-1690nm
F50-s980	4µm-1mm	960-1000nm
F50-s1310	7µm-2mm	1280-1340nm
F50-s1550	10µm-3mm	1520-1580nm

包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
BK7 參考材料
整平濾波器 (用于高反射基板)
真空泵
備用燈

F60：生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)化厚度映射

Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引，但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)缺口查找，自動(dòng)機(jī)載基線測量，帶運(yùn)動(dòng)互鎖的封閉式測量平臺(tái)，預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)以及升級(jí)到*自動(dòng)化晶圓處理的選項(xiàng)。

不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長范圍進(jìn)行區(qū)分。通常需要較短波長（例如F60-t-UV）來測量較薄的膜，而較長的波長允許測量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F60系列型號(hào)規(guī)格

*取決于薄膜種類
型號(hào)		厚度范圍*		波長范圍
	F60-t		20nm-70µm		380-1050nm
	F60-t-UV		5nm-40µm		190-1100nm
	F60-t-NIR		100nm-250µm		950-1700nm
	F60-t-EXR		20nm-250µm		380-1700nm
	F60-t-UVX		5nm-250µm		190-1700nm

F60-t-XT	0.2µm-450µm	1440-1690nm
F60-t-s980	4µm-1mm	960-1000nm
F60-t-s1310	7µm-2mm	1280-1340nm
F60-t-s1550	10µm-3mm	1520-1580nm

包含的內(nèi)容：

集成平臺(tái)/光譜儀/光源裝置（不含平臺(tái)）
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
真空泵
備用燈

常見選購配件：

F3-sX 系列

F3-sX 系列能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長選配

F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),??F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片的化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計(jì)。

附件

附件包含自動(dòng)化測繪平臺(tái)，一個(gè)影像鏡頭可看到量測點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力至15奈米。

F3-sX 系列型號(hào)規(guī)格

*取決于薄膜種類
型號(hào)		厚度范圍*		波長范圍
	F3-s980		10µm - 1mm		960-1000nm
	F3-s1310		15µm - 2mm		1280-1340nm
	F3-s1550		25µm - 3mm		1520-1580nm